秦置臨淄縣。
西漢于東境置東安平縣，屬淄川國；分其西境置西安縣，與臨淄同屬齊郡。
東漢、三國魏、晉3縣同屬齊國。
南朝宋改東安平縣為安平縣，僑置高陽郡、高陽縣于西安縣。
北齊廢安平縣，徙高陽郡出境，廢西安縣入高陽縣，臨淄縣省入益都縣。
隋開皇十六年(596)復置臨淄縣，并由高陽縣析置時水縣。
大業(yè)初2縣并省入臨淄縣，屬北�？�。
唐、宋屬青州。
金屬益都府。
元至元三年(1266)省入益都縣，至元十五年(1278)復置，屬益都路。
元末因故城傾圮，建新城于其南，即今臨淄城。
明、清屬青州府。
1913年屬膠東道。
1925年屬淄青道。
1928年廢道直屬于省。
1938年10月，中國共產(chǎn)黨在長(山)、桓(臺)、臨(淄)、益(都)毗連地區(qū)設(shè)立長桓臨益四邊縣，臨淄縣西境屬之。
1939年10月設(shè)立益(都)壽(光)臨(淄)廣(饒)四邊縣，臨淄縣第二區(qū)及第三區(qū)淄河以東區(qū)域?qū)僦�；廣饒縣第三區(qū)同時劃歸臨淄。
1940年4月益壽臨廣四邊縣撤銷，所轄原臨淄地仍歸臨淄。
1942年益壽臨廣四邊縣再度建立，屬清河行政區(qū)清東專區(qū)，臨淄縣第二區(qū)及第三區(qū)之淄河以東地復屬該四邊縣。
同年7月博興縣第五區(qū)劃歸臨淄。
1945年8月益壽臨廣四邊縣撤銷，所轄原臨淄地還屬臨淄。
1944年3月臨淄屬渤海行政區(qū)第五專區(qū)。
1945年10月屬渤海行政區(qū)第三專區(qū)。
1949年7月，屬渤海行政區(qū)清河專區(qū)。
1950年5月，清河專區(qū)撤銷，臨淄縣劃歸淄博專區(qū)。
1953年7月，淄博專區(qū)改為淄博工礦特區(qū)，臨淄劃歸昌濰專區(qū)。
1958年12月，臨淄并入益都縣，仍屬昌濰專區(qū)。
1969年12月16日，臨淄縣劃歸淄博市，改稱臨淄區(qū)。